一般环境晶圆搬运手臂, 适用100mm - 300mm晶圆 TT301A-WA
- 手臂型号: TT301A-WA 系列
- 马达类型: 伺服马达
- 手臂类型: 圆柱坐标双臂
- 运动轴: R/W/T/Z
- 操作环境：大气环境
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一般环境晶圆搬运手臂
此款一般环境晶圆搬运手臂为一般环境内的EFEM所研发。成本可控并且能实现高性能运作。
技术参数
| 手臂型号 | TT301A-WA 系列 |
| 马达类型 | 伺服马达 |
| 手臂类型 | 圆柱坐标双臂 |
| 晶圆尺寸 | 100mm – 300mm |
| 运动轴 | R/W/T/Z |
| 运动范围 | R: 臂长 178mm |
| T: +185deg | |
| Z: 330mm | |
| 往返精确度 | R: ±0.1 mm |
| T: ±0.02deg | |
| Z: ±0.05 mm | |
| 晶圆保持方法 | 真空吸附 |
| 夹持 | |
| 凹槽（接收盘） | |
| 伯努利 | |
| 混搭（双臂） | |
| 晶圆保持确认 | 真空吸附：数字显示真空传感器 |
| 夹持:微型光电传感器 | |
| 凹槽: 微型光电传感器或者无 | |
| 伯努利：反射型传感器 | |
| 连接方式 | RS232C ETHERNET |
| 适用电源 | 单相 AC200V~230V+10% 8A 1系统 |
定制服务
| 晶圆保持方法 | 1) 真空吸附 |
| 2) 夹持 | |
| 3) 凹槽（接收盘） | |
| 4) 伯努利 | |
| 手掌装置 | 1) N: 无 |
| 2) V: 双掌反转（无波动齿轮）标准 | |
| 3) U: 反转（有波动齿轮）高负荷 | |
| 4) W: 双掌反转（有波动齿轮）高负荷 | |
| 映射传感器 | 1) N: 无映射传感器 |
| 2) T: 透过感应 | |
| 3) R: 反射型感应 | |
| 导轨 | 1) N: 无导轨 |
| 2) S: 标准（80w马达） | |
| 3) H: 高速（200w马达） | |
| 导轨行程 | N: 无导轨 |
| A: 505mm | |
| B: 1010mm | |
| C: 1515mm | |
| D: 2020mm | |
| E: 2525mm | |
| F: 600mm | |
| G: 1200mm | |
| H: 1800mm | |
| J: 00mm | |
| K: 800mm | |
| 马达安装位置 | 1) N: 无导轨 |
| 2) R: 右侧安装 | |
| 3) L: 左侧安装 |