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wafer handling robot plp double PLP传送机器人

PLP适用工业机器人手臂, 方形面板 300-650mmm

  • 手臂型号:  PLP 双臂系列
  • 马达类型: 伺服马达
  • 手臂类型: 双臂
  • 运动轴:R1/R2/T/Z轴
  • 操作环境:大气环境
  • 传送方形面板 300-650mmm

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PLP传送机器人 - 双臂

PLP双臂晶圆传送机器人,配备伺服电机,可传送300-650mm规格的方形面板。

技术参数

手臂型号

PLP系列

马达类型

伺服马达

手臂类型

双臂

适用对象

方形面板 300-650mmm

运动轴

R1/R2/T/Z 轴

运动范围

R1,R2轴:最大到达距离760mm (旋回中心开始)

T轴:±185deg

Z轴:500mm

S轴880mm

往返精确度

R1,R2轴:±0.1mm

T轴:±0.03deg

Z轴:±0.1mm

S轴:±0.25mm

晶圆保持方法

真空吸附

夹持

凹槽(接收盘)

晶圆保持确认

真空吸附:数字显示真空传感器

夹持:微型光电传感器

连接方式

RS232C ETHERNET

适用电源

单相或三相 AC200V~AC230V+10% 5A~30A

定制服务

类型描述
手臂T: 圆简标准单臂
 W: 圆筒标准双臂
 R: 直角标准单臂
升降机构S: 标准
 W: 伸缩2段升降
手指型N: 无
 H: 水平变换机构
 T: 翻转
1: 385mm(R·W)
 2: 179mm(R·W)
 4: 220mm(R·T)
 6: 300mm(T)
 8: 370mm
升降1: 500mm(S·W)
 2: 700mm(W)
 4: 300mm(S)
导轨0: 无
 1: 505mm
 2: 1010mm
 3: 1515mm
 4: 2020mm
 6: 600mm
 8: 1800mm
 9: 880mm
 I: 2000mm
 J: 2060mm
Work把持方法(Hand1)N: 无
 G: 夹持
 V: 真空吸附
 R: 凹槽(无着座感应)
 P: 凹槽(有着座感应)
Work把持方法(Hand2)N: 无
 V: 真空吸附
 G: 夹持
 R: 凹槽(无着座感应)
 P: 凹槽(有着座感应)
传感器T: 透过型
 N: 无
 R: 反射型