晶圆传送手臂 – Xwetool https://www.xwetool.com Wed, 17 Sep 2025 03:41:39 +0000 en-US hourly 1 https://wordpress.org/?v=6.9 https://www.xwetool.com/wp-content/uploads/2024/10/cropped-site-identity-32x32.jpg 晶圆传送手臂 – Xwetool https://www.xwetool.com 32 32 MTE https://www.xwetool.com/semiconductor-wafer-handling-robots-mte/ Wed, 17 Sep 2025 03:33:48 +0000 https://www.xwetool.com/?p=3262

首页 > 大气手臂> MTE

MTE E - 高洁净度晶圆搬运手臂

TAZMO高洁净度晶圆搬运手臂MTE系列

  • 手臂型号:  MTE
  • 马达类型: 伺服马达
  • 手臂类型: 单臂
  • 运动轴:R/T/W/Z/P轴
  • 操作环境：大气环境
  • 适合晶圆: 100-450mm
  • 品牌：TAZMO

请咨询价格

TAZMO高洁净度晶圆搬运手臂MTE系列

这款高洁净度晶圆搬运手臂能高速传输、实现高洁净度，是半导体先进制程的理想选择方案。

技术参数

手臂型号

MTE系列

马达类型

伺服马达

手臂类型

单臂

晶圆尺寸

100mm – 450mm

运动轴

R/T/W/Z/P 轴

运动范围

R轴: 590mm臂可达最大距离除去末端执行器)

T轴: 350deg(原点开始±175deg)

W轴: 360deg(原点开始±180deg)

Z轴: 300mm

P轴:180deg

往返精确度

XY: ±0.1 mm

Z: ±0.05 mm

P: ±0.02 deg

晶圆保持方法

真空吸附

夹持

凹槽（接收盘）

伯努利

晶圆保持确认

真空吸附：数字显示真空传感器

夹持:微型光电传感器

凹槽: 微型光电传感器或者无

伯努利：反射型传感器

连接方式

RS232C

适用电源

单相 AC100V~AC115V+10% 7A 1系統 (AC100V规格)

单相 AC200V~AC230V+10% 5A 1系统 (AC200V规格)

定制服务

机械臂长&关节数B190mm 2节
D245mm 3节
C220mm 2节
E300mm 3节
G300mm 2节
升降行程A200mm
C300mm
D350mm
电压1100V
2200V
手掌装置E变換装置[双]
T反转
H水平变换装置
S单
晶圆保持机构G夹持
R凹槽
B伯努利
Z特制
N无
V真空吸附
]]> MTP https://www.xwetool.com/mtp-cn/ Tue, 01 Jul 2025 06:05:50 +0000 https://www.xwetool.com/?p=2944

首页 > 真空手臂> MTP-DB3-2

MTP robot 真空手臂机器人 High Vacuum Wafer Robot

TAZMO 高真空手臂机器人MTP系列 MTP-DB3-2

  • 手臂型号: MTP-DB3-2
  • 手臂类型: 单臂
  • 运动轴:R1/R2/T/Z轴
  • 操作环境：高真空环境
  • 适合晶圆: 100-300mm
  • 品牌：TAZMO

请咨询价格

TAZMO 高真空手臂机器人MTP系列

MTP系列高真空手臂机器人实现了低震动，低噪音，可以支持次世代半导体制造装置。

技术参数

手臂型号

MTP系列

晶圆尺寸

100mm – 300mm

运动范围

R1轴/R2轴:臂长220mm430mm,臂可达最大距离(不含末端控制器)

T轴:360deg(原点开始±180deg)

Z轴:上方取付时 66mm(原点开始+64mm/-2mm)

下方取付时104mm（原点开始+104mm/-2mm)

最小回旋径

臂长220mm时，半径580mm（到晶圆中心的机械手长370mm时)

往返精度

R1轴/R2轴:±0.1mm以内

T轴:±0.05deg以内

Z轴:±0.05mm以内

晶圆保持方法

凹槽(接收盘)

请另行指示

连接方式

RS232C

通信指令控制

适用电源

单相AC100V~115V±10% 7.5A 1系統(AC100V规格)

单相AC200V~230V±10%5A 1系統(AC200V规格)

定制服务

电压

1:100V 2:200V

机械臂驱动轴数

3:3轴(分支臂,R1,R2,θ)
2:2轴(单臂,R,θ)
4:3轴(单臂,X,Y及R,θ)
5:3轴(单臂,R,θ及P)

升降行程

A:24mm
C:104mm
E:160mm  

机械臂长&节数

B:170mm 2节
C:220mm 2节
D:300mm 2节

]]> MPL https://www.xwetool.com/mpl-cn/ Tue, 01 Jul 2025 05:52:42 +0000 https://www.xwetool.com/?p=2933

首页 > 真空手臂> 低真空晶圆搬运手臂MPL

TAZMO 低真空晶圆搬运手臂MPL系列

低真空晶圆搬运手臂MPL系列

  • 手臂型号:  MPL
  • 马达类型: 步进马达
  • 手臂类型: 单臂
  • 运动轴:R1/R2/T/Z轴
  • 操作环境：低真空环境
  • 适合晶圆: 100-300mm

请咨询价格

TAZMO 低真空晶圆搬运手臂MPL系列

TAZMO 低真空晶圆搬运机器人MPL系列实现了低震动, 低噪音, 可以支持次世代半导体制造装置。

技术参数

手臂型号

MPL系列

晶圆尺寸

100mm – 300mm

运动范围

R1轴/R2轴:臂长220mm

430mm臂可达最大距离(不含末端控制器)

T轴:360deg(原点开始±180deg)

Z轴:上方取付时 66mm(原点开始+64mm/-2mm)

下方取付时104mm(原点开始+104mm/-2mm)

最小回旋径

臂長220mm时,半径580mm(到晶圆中心的机械手长370mm时)

往返精度

R1轴/R2轴:±0.1mm以内

T轴:±0.05deg以内

Z轴:±0.05mm以内

晶圆保持方法

凹槽(接收盘)

请另行指示

连接方式

RS232C

通信指令控制

适用电源

单相AC100V~115V+10%

7.5A 1系統 (AC100V规格) 单相AC200V~230V+10%

5A 1系統

(AC200V规格)

定制服务

电压1:100V 2:200V
机械臂驱动轴数3:3轴(分支臂,R1,R2,θ)
2:2轴(单臂,R,θ)
4:3轴(单臂,X,Y及R,θ)
5:3轴(单臂,R,θ及P)
升降行程A:200mm
C:300mm
E:380mm  
机械臂长&节数A:130mm 2节
B:170mm 2节
C:220mm 2节
D:300mm 2节
]]> NES https://www.xwetool.com/wafer-robot-arm-nes/ Wed, 26 Mar 2025 06:07:59 +0000 https://www.xwetool.com/?p=2233

首页 > 大气手臂> NES

wafer robot arm NES 晶圆机器人手臂

TAZMO单臂晶圆机器人手臂NES系列 ,高速传输，大气环境使用

  • 手臂型号:  NES
  • 马达类型: 伺服马达
  • 手臂类型: 单臂
  • 运动轴:R/T/Z轴
  • 操作环境：大气环境
  • 适合晶圆: 100-300mm
  • 品牌：TAZMO

请咨询价格

TAZMO单臂晶圆机器人手臂NES系列

晶圆机器人手臂NES系列为单臂款，配备伺服电机，高速、高清洁度，是高性能晶圆搬运的理想选择。

技术参数

手臂型号

NES 系列

马达类型

伺服马达

手臂类型

单臂

晶圆尺寸

100mm – 300mm

运动轴

R/T/Z 轴

运动范围

R轴:臂长179mm/350mm臂可到达最大距离(不包含末端控制器)

T轴:340deg

z轴:300mm

往返精确度

R轴:±0.1mm

T轴:±0.05deg

Z轴:0.05mm

晶圆保持方法

真空吸附

夹持

凹槽（接收盘）

伯努利

晶圆保持确认

真空吸附：数字显示真空传感器

夹持:微型光电传感器

凹槽: 微型光电传感器或者无

伯努利：反射型传感器

连接方式

RS232C

适用电源

单相 AC100V~AC115V+10% 7A 1系統 (AC100V规格)

单相 AC200V~AC230V+10% 5A 1系统 (AC200V规格)

定制服务

可选择的有偿设备

1. 透过型传感器

2. 夹持

3. 反转机(P轴) (步进马达规格)

4.导轨(X轴)更换控制器[仅限200V规格]

机械臂长

1:179mm

2:150mm

升降行程

1:300mm

2:350mm

]]> NEW https://www.xwetool.com/wafer-handling-robot-new/ Tue, 25 Mar 2025 03:23:49 +0000 https://www.xwetool.com/?p=2207

首页 > 大气手臂> NEW

wafer handling robot NEW

双臂晶圆搬运机器人NEW系列, 高速传输

  • 手臂型号:  NEW
  • 马达类型: 伺服马达
  • 手臂类型: 双臂
  • 运动轴:R1/R2/T/Z轴
  • 操作环境：大气环境
  • 适合晶圆: 100-300mm
  • 品牌：TAZMO

请咨询价格

双臂晶圆搬运机器人NEW系列

这款高洁净度晶圆搬运机器人能高速传输、实现高洁净度，是半导体先进制程的理想选择方案。

技术参数

手臂型号

NEW系列

马达类型

伺服马达

手臂类型

双臂

晶圆尺寸

100mm – 300mm

运动轴

R/T/W/Z/P 轴

运动范围

R1轴、R2轴:臂长179mm/350mm臂可到达最大距离(不包含末端控制器)

T轴:340deg

z轴:300mm

往返精确度

R1轴、R2轴:±0.1mm

T轴:±0.05deg

Z轴:0.05mm

晶圆保持方法

真空吸附

夹持

凹槽（接收盘）

伯努利

晶圆保持确认

真空吸附：数字显示真空传感器

夹持:微型光电传感器

凹槽: 微型光电传感器或者无

伯努利：反射型传感器

连接方式

RS232C

适用电源

单相 AC100V~AC115V+10% 7A 1系統 (AC100V规格)

单相 AC200V~AC230V+10% 5A 1系统 (AC200V规格)

定制服务

可选择的有偿设备

1. 透过型映射传感器

2. 夹持

3. 反转机(P轴) (步进马达规格、仅限上手掌)

4.导轨(X轴)更换控制器[仅限200V规格]

机械臂长

1:179mm

2:150mm

升降行程

1:300mm

2:350mm

电压

1:200V

2:100V

]]> NTSR https://www.xwetool.com/tazmo-wafer-robot-ntsr/ Fri, 21 Mar 2025 02:36:44 +0000 https://www.xwetool.com/?p=2201

首页 > 大气手臂> NTSR

TAZMO wafer robot NTSR

TAZMO牌一般环境用单臂晶圆机器人手臂NTSR系列

  • 手臂型号:  NTWR
  • 马达类型: 步进马达
  • 手臂类型: 双臂
  • 运动轴:R1/R2/T/Z轴
  • 操作环境：大气环境
  • 适合晶圆: 100-300mm
  • 品牌：TAZMO

请咨询价格

TAZMO牌一般环境用单臂晶圆机器人手臂

TAZMO牌一般环境用单臂晶圆机器人手臂, 单臂，配置步进马达，实现高性能晶圆传输。

技术参数

手臂型号

NTSR

马达类型

步进马达

手臂类型

单臂

晶圆尺寸

100mm – 300mm

运动轴

R/T/Z

运动范围

R轴:臂长130mm 场合/行程 250mm(不含末端执行器)

臂长165mm场合/行程320mm(不含末端执行器)

T轴:340deg

Z轴:300mm

往返精确度

R: ±0.1 mm

T: ±0.05deg

Z: ±0.1 mm

晶圆保持方法

真空吸附

夹持

晶圆保持确认

真空吸附:数字显示真空传感器

夹持:微型光电传感器

连接方式

RS232C RS485

适用电源

动力驱动电源 DC24V ±5% 10A 1 系统

控制用电源: DC24V ±5% 3.15A 1 系统

定制服务

可选择的有偿设备1. 透过型映射传感器
2. 导轨(X轴)
3. 变更控制器AC伺服电机规格
机械臂长 1:165mm
2:130mm
升降行程 1:300mm
2:200mm
安装方法 1:下部安装
2:上部安装
]]> NTWR https://www.xwetool.com/wafer-robot-arm-ntwr/ Wed, 19 Mar 2025 08:01:38 +0000 https://www.xwetool.com/?p=2178

首页 > 大气手臂> NTWR

wafer robot arm NTWR

一般环境用双臂晶圆机器人手臂 - 步进马达驱动 NTWR 系列

  • 手臂型号:  NTWR
  • 马达类型: 步进马达
  • 手臂类型: 双臂
  • 运动轴:R1/R2/T/Z轴
  • 操作环境：大气环境
  • 适合晶圆: 100-300mm

请咨询价格

一般环境用双臂晶圆机器人手臂 - 步进马达驱动

一般环境用双臂晶圆机器人手臂 ，配置步进马达，适合100mm – 300mm晶圆传送。

技术参数

手臂型号

NTWR

马达类型

步进马达

手臂类型

双臂

晶圆尺寸

100mm – 300mm

运动轴

R1/R2/T/Z

运动范围

R1轴、R2轴: 臂长130mm, 行程250mm(不含末端执行器)

臂长165mm, 場合/行程320mm(不含末端执行器)

T轴:340deg

Z轴:300mm

往返精确度

R1,R2: ±0.1 mm

T: ±0.05deg

Z: ±0.1 mm

晶圆保持方法

真空吸附

夹持

晶圆保持确认

数字显示真空传感器 

连接方式

RS232C RS485

适用电源

动力驱动电源 DC24V ±5% 10A 1 系统

控制用电源: DC24V ±5% 3.15A 1 系统

定制服务

可选择的有偿设备1. 透过型映射传感器
2. 导轨(X轴)
3. 变更控制器AC伺服电机规格
机械臂长 1:165mm
2:130mm
升降行程 1:300mm
2:200mm
安装方法 1:下部安装
2:上部安装
]]> PLP -双臂 https://www.xwetool.com/plp-wafer-robot/ Tue, 18 Mar 2025 02:54:51 +0000 https://www.xwetool.com/?p=2169

首页 > 大气手臂> PLP双臂

TAZMO robot PLP Double arm

PLP适用工业机器人手臂, 方形面板 300-650mmm 双臂型

  • 手臂型号:  PLP 双臂系列
  • 马达类型: 伺服马达
  • 手臂类型: 双臂
  • 运动轴:R1/R2/T/Z轴
  • 操作环境：大气环境
  • 传送方形面板 300-650mmm

请咨询价格

PLP传送机器人 - 双臂

PLP双臂晶圆传送机器人，配备伺服电机，可传送300-650mm规格的方形面板。

技术参数

手臂型号

PLP系列

马达类型

伺服马达

手臂类型

双臂

适用对象

方形面板 300-650mmm

运动轴

R1/R2/T/Z 轴

运动范围

R1,R2轴:最大到达距离760mm (旋回中心开始)

T轴:±185deg

Z轴:500mm

S轴880mm

往返精确度

R1,R2轴:±0.1mm

T轴:±0.03deg

Z轴:±0.1mm

S轴:±0.25mm

晶圆保持方法

真空吸附

夹持

凹槽（接收盘）

晶圆保持确认

真空吸附：数字显示真空传感器

夹持:微型光电传感器

连接方式

RS232C ETHERNET

适用电源

单相或三相 AC200V~AC230V+10% 5A~30A

定制服务

类型描述
手臂T: 圆简标准单臂
 W: 圆筒标准双臂
 R: 直角标准单臂
升降机构S: 标准
 W: 伸缩2段升降
手指型N: 无
 H: 水平变换机构
 T: 翻转
臂1: 385mm(R·W)
 2: 179mm(R·W)
 4: 220mm(R·T)
 6: 300mm(T)
 8: 370mm
升降1: 500mm(S·W)
 2: 700mm(W)
 4: 300mm(S)
导轨0: 无
 1: 505mm
 2: 1010mm
 3: 1515mm
 4: 2020mm
 6: 600mm
 8: 1800mm
 9: 880mm
 I: 2000mm
 J: 2060mm
Work把持方法(Hand1)N: 无
 G: 夹持
 V: 真空吸附
 R: 凹槽(无着座感应)
 P: 凹槽(有着座感应)
Work把持方法(Hand2)N: 无
 V: 真空吸附
 G: 夹持
 R: 凹槽(无着座感应)
 P: 凹槽(有着座感应)
传感器T: 透过型
 N: 无
 R: 反射型
]]> PLP https://www.xwetool.com/industrial-robotic-arm-plp/ Mon, 17 Mar 2025 03:21:46 +0000 https://www.xwetool.com/?p=2142

首页 > 大气手臂> PLP单臂

industrial robotic arm PLP

PLP适用工业机器人手臂, 方形面板 300-650mmm，单臂型

  • 手臂型号:  PLP 系列
  • 马达类型: 伺服马达
  • 手臂类型: 单臂
  • 运动轴: R/T/Z轴
  • 操作环境：大气环境
  • 传送方形面板 300-650mmm

请咨询价格

PLP工业机器人

工业机器人PLP系列为单臂款，配备伺服电机，专为PLP设计，是高效方形面板搬运的理想选择。

技术参数

手臂型号

PLP系列

马达类型

伺服马达

手臂类型

单臂

适用对象

方形面板 300-650mmm

运动轴

R/T/Z 轴

运动范围

R轴:最大到达距离760mm (旋回中心开始)

T轴:±185deg

Z轴:500mm

S轴:2000mm

往返精确度

R轴:±0.2mm

T轴:±0.03deg

Z轴:±0.1mm

S轴:±0.25mm

晶圆保持方法

真空吸附

夹持

凹槽（接收盘）

晶圆保持确认

真空吸附：数字显示真空传感器

夹持:微型光电传感器

连接方式

RS232C ETHERNET

适用电源

单相或三相 AC200V~AC230V+10% 5A~30A

定制服务

类别

选项

描述

手臂

T

圆简标准单臂

W

圆筒标准双臂

R

直角标准单臂

升降机构

S

标准

W

伸缩2段升降

手指型

N

无

H

水平变换机构

T

翻转

臂

1

385mm(R·W)

2

179mm(R·W)

4

220mm(R·T)

6

300mm(T)

8

370mm

升降

1

500mm(S·W)

2

700mm(W)

4

300mm(S)

导轨

0

无

1

505mm

2

1010mm

3

1515mm

4

2020mm

6

600mm

8

1800mm

9

880mm

I

2000mm

J

2060mm

Work把持方法(Hand1)

N

无

G

夹持

V

真空吸附

R

凹槽(无着座感应)

P

凹槽(有着座感应)

Work把持方法(Hand2)

N

无

V

真空吸附

G

夹持

R

凹槽(无着座感应)

P

凹槽(有着座感应)

传感器

T

透过型

N

无

R

反射型

]]> TT301A-RA https://www.xwetool.com/wafer-transfer-robot-tt301a-ra/ Fri, 14 Mar 2025 05:56:39 +0000 https://www.xwetool.com/?p=2097

首页 > 大气手臂> TT301A-RA

wafer transfer robot TT301A-RA

EFEM用晶圆搬运手臂，100mm - 300mm晶圆，伺服马达双臂, TT301A-RA

  • 手臂型号: TT301A-RA 系列
  • 马达类型: 伺服马达
  • 手臂类型: 直角坐标臂,单臂
  • 运动轴: R/W/T/Z
  • 操作环境：大气环境

请咨询价格

EFEM用晶圆搬运手臂

此款晶圆搬运手臂适用于大气环境下的EFEM设备。我们是优质TAZMO代理商，为您提供本可控的优质机器人手臂产品。

技术参数

手臂型号

TT301A-RA 系列

马达类型

伺服马达

手臂类型

单臂，直角坐标臂

晶圆尺寸

100mm – 300mm

运动轴

R/W/T/Z

运动范围

R: 臂长 220mm

T: +185deg

Z: 330mm

往返精确度

XY: ±0.1 mm

Z: ±0.05 mm

晶圆保持方法

真空吸附

夹持

凹槽（接收盘）

伯努利

晶圆保持确认

真空吸附：数字显示真空传感器

夹持:微型光电传感器

Bernoulli:Reflective sensor

连接方式

RS232C ETHERNET

适用电源

单相 AC200V~230V+10% 8A 1系统

定制服务

 晶圆保持方法1) 真空吸附
2) 夹持
3) 凹槽（接收盘）
4) 伯努利
手掌装置1) N: 无
2) V: 双掌反转（无波动齿轮）标准
3) U: 反转（有波动齿轮）高负荷
4) W: 双掌反转（有波动齿轮）高负荷
映射传感器1) N: 无映射传感器
2) T: 透过感应
3) R: 反射型感应
导轨1) N: 无导轨
2) S: 标准（80w马达）
3) H: 高速（200w马达）
导轨行程N: 无导轨
A: 505mm
B: 1010mm
C: 1515mm
D: 2020mm
E: 2525mm
F: 600mm
G: 1200mm
H: 1800mm
J: 00mm
K: 800mm
马达安装位置1) N: 无导轨
2) R: 右侧安装
3) L: 左侧安装

运作演示

]]>