低真空晶圆搬运手臂MPL系列
- 手臂型号: MPL
- 马达类型: 步进马达
- 手臂类型: 单臂
- 运动轴:R1/R2/T/Z轴
- 操作环境：低真空环境
- 适合晶圆: 100-300mm
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TAZMO 低真空晶圆搬运手臂MPL系列
TAZMO 低真空晶圆搬运机器人MPL系列实现了低震动, 低噪音, 可以支持次世代半导体制造装置。
技术参数
手臂型号 | MPL系列 |
晶圆尺寸 | 100mm – 300mm |
运动范围 | R1轴/R2轴:臂长220mm 430mm臂可达最大距离(不含末端控制器) T轴:360deg(原点开始±180deg) Z轴:上方取付时 66mm(原点开始+64mm/-2mm) 下方取付时104mm(原点开始+104mm/-2mm) |
最小回旋径 | 臂長220mm时,半径580mm(到晶圆中心的机械手长370mm时) |
往返精度 | R1轴/R2轴:±0.1mm以内 T轴:±0.05deg以内 Z轴:±0.05mm以内 |
晶圆保持方法 | 凹槽(接收盘) 请另行指示 |
连接方式 | RS232C 通信指令控制 |
适用电源 | 单相AC100V~115V+10% 7.5A 1系統 (AC100V规格) 单相AC200V~230V+10% 5A 1系統 (AC200V规格) |
定制服务
| 电压 | 1:100V 2:200V |
| 机械臂驱动轴数 | 3:3轴(分支臂,R1,R2,θ) 2:2轴(单臂,R,θ) 4:3轴(单臂,X,Y及R,θ) 5:3轴(单臂,R,θ及P) |
| 升降行程 | A:200mm C:300mm E:380mm |
| 机械臂长&节数 | A:130mm 2节 B:170mm 2节 C:220mm 2节 D:300mm 2节 |