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PLP适用工业机器人手臂, 方形面板 300-650mmm
- 手臂型号: PLP 双臂系列
- 马达类型: 伺服马达
- 手臂类型: 双臂
- 运动轴:R1/R2/T/Z轴
- 操作环境:大气环境
- 传送方形面板 300-650mmm
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PLP传送机器人 - 双臂
PLP双臂晶圆传送机器人,配备伺服电机,可传送300-650mm规格的方形面板。
技术参数
手臂型号 | PLP系列 |
马达类型 | 伺服马达 |
手臂类型 | 双臂 |
适用对象 | 方形面板 300-650mmm |
运动轴 | R1/R2/T/Z 轴 |
运动范围 | R1,R2轴:最大到达距离760mm (旋回中心开始) T轴:±185deg Z轴:500mm S轴880mm |
往返精确度 | R1,R2轴:±0.1mm T轴:±0.03deg Z轴:±0.1mm S轴:±0.25mm |
晶圆保持方法 | 真空吸附 夹持 凹槽(接收盘) |
晶圆保持确认 | 真空吸附:数字显示真空传感器 夹持:微型光电传感器 |
连接方式 | RS232C ETHERNET |
适用电源 | 单相或三相 AC200V~AC230V+10% 5A~30A |
定制服务
类型 | 描述 |
手臂 | T: 圆简标准单臂 |
W: 圆筒标准双臂 | |
R: 直角标准单臂 | |
升降机构 | S: 标准 |
W: 伸缩2段升降 | |
手指型 | N: 无 |
H: 水平变换机构 | |
T: 翻转 | |
臂 | 1: 385mm(R·W) |
2: 179mm(R·W) | |
4: 220mm(R·T) | |
6: 300mm(T) | |
8: 370mm | |
升降 | 1: 500mm(S·W) |
2: 700mm(W) | |
4: 300mm(S) | |
导轨 | 0: 无 |
1: 505mm | |
2: 1010mm | |
3: 1515mm | |
4: 2020mm | |
6: 600mm | |
8: 1800mm | |
9: 880mm | |
I: 2000mm | |
J: 2060mm | |
Work把持方法(Hand1) | N: 无 |
G: 夹持 | |
V: 真空吸附 | |
R: 凹槽(无着座感应) | |
P: 凹槽(有着座感应) | |
Work把持方法(Hand2) | N: 无 |
V: 真空吸附 | |
G: 夹持 | |
R: 凹槽(无着座感应) | |
P: 凹槽(有着座感应) | |
传感器 | T: 透过型 |
N: 无 | |
R: 反射型 |