6英寸晶圆甩干机
6英寸晶圆甩干机，双筒式立式
- 配方数量：最大15个配方
- 每一个工艺配方：可编辑 10 个动作
- 自动清洗功能
- 最大转速：高达2800rpm（200 mm/2400rpm300mm/2000rpm)
- 转子旋转时振动小于350um
- 转速误差少于10%
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技术参数
| 项目 | 参数 |
| 型号 | XWS-602D-4 |
| 基本功能 | 去离子水喷淋，管路清除，旋干及热氮气 |
| 最大转速 | 高达2800rpm（200 mm/2400rpm300mm/2000rpm) |
| 氮气加热温度 | 70℃ |
| 持续氮气管路清除 | 有 |
| 水阻值监控 | 有 |
| 去静电功能/氮气压力监控 | 有 |
| 紧急停止功能 | 有 |
| 工艺配方 | 15 |
| 每一个工艺配方 | 可编辑 10 个动作 |
| 自动清洗功能 | 有 |
| 转子旋转时振动范围 | 小于350um |
| 转速误差 | 少于10% |
| 转子桶槽材质 | 316L-EP |
| 密封圈材质 | 氟化橡胶 |
| 腔体与轴密封类型 | 无接触氮气密封 |
| 无刷类型 | 无刷马达 |
| 氮气加热方式 | 无接触式氮气加热 |
| 氮气过滤器精度 | 0.003um |
| 去离子水阀体和氮气阀体材质 | PTFE |
| 机台尺寸 | 500×695×1820mm |
| 机台重量 | 98kgs |