双臂晶圆搬运机器人NEW系列, 高速传输
- 手臂型号: NEW
- 马达类型: 伺服马达
- 手臂类型: 双臂
- 运动轴:R1/R2/T/Z轴
- 操作环境：大气环境
- 适合晶圆: 100-300mm
- 品牌：TAZMO
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双臂晶圆搬运机器人NEW系列
这款高洁净度晶圆搬运机器人能高速传输、实现高洁净度，是半导体先进制程的理想选择方案。
技术参数
手臂型号 | NEW系列 |
马达类型 | 伺服马达 |
手臂类型 | 双臂 |
晶圆尺寸 | 100mm – 300mm |
运动轴 | R/T/W/Z/P 轴 |
运动范围 | R1轴、R2轴:臂长179mm/350mm臂可到达最大距离(不包含末端控制器) T轴:340deg z轴:300mm |
往返精确度 | R1轴、R2轴:±0.1mm T轴:±0.05deg Z轴:0.05mm |
晶圆保持方法 | 真空吸附 夹持 凹槽（接收盘） 伯努利 |
晶圆保持确认 | 真空吸附：数字显示真空传感器 夹持:微型光电传感器 凹槽: 微型光电传感器或者无 伯努利：反射型传感器 |
连接方式 | RS232C |
适用电源 | 单相 AC100V~AC115V+10% 7A 1系統 (AC100V规格) 单相 AC200V~AC230V+10% 5A 1系统 (AC200V规格) |
定制服务
可选择的有偿设备 | 1. 透过型映射传感器 |
2. 夹持 | |
3. 反转机(P轴) (步进马达规格、仅限上手掌) | |
4.导轨(X轴)更换控制器[仅限200V规格] | |
机械臂长 | 1:179mm |
2:150mm | |
升降行程 | 1:300mm |
2:350mm | |
电压 | 1:200V |
2:100V |