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一般环境用双臂晶圆机器人手臂 - 步进马达驱动
- 手臂型号: NTWR
- 马达类型: 步进马达
- 手臂类型: 双臂
- 运动轴:R1/R2/T/Z轴
- 操作环境：大气环境
- 适合晶圆: 100-300mm
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一般环境用双臂晶圆机器人手臂 - 步进马达驱动
一般环境用双臂晶圆机器人手臂 ，配置步进马达，适合100mm – 300mm晶圆传送。
技术参数
手臂型号 | NTWR |
马达类型 | 步进马达 |
手臂类型 | 双臂 |
晶圆尺寸 | 100mm – 300mm |
运动轴 | R1/R2/T/Z |
运动范围 | R1轴、R2轴: 臂长130mm, 行程250mm(不含末端执行器) 臂长165mm, 場合/行程320mm(不含末端执行器) T轴:340deg Z轴:300mm |
往返精确度 | R1,R2: ±0.1 mm T: ±0.05deg Z: ±0.1 mm |
晶圆保持方法 | 真空吸附 夹持 |
晶圆保持确认 | 数字显示真空传感器 |
连接方式 | RS232C RS485 |
适用电源 | 动力驱动电源 DC24V ±5% 10A 1 系统 控制用电源: DC24V ±5% 3.15A 1 系统 |
定制服务
| 可选择的有偿设备 | 1. 透过型映射传感器 |
| 2. 导轨(X轴) | |
| 3. 变更控制器AC伺服电机规格 | |
| 机械臂长 | 1:165mm |
| 2:130mm | |
| 升降行程 | 1:300mm |
| 2:200mm | |
| 安装方法 | 1:下部安装 |
| 2:上部安装 |