手臂型号

MTE系列

马达类型

伺服马达

手臂类型

单臂

晶圆尺寸

100mm – 450mm

运动轴

R/T/W/Z/P 轴

运动范围

R轴: 590mm臂可达最大距离除去末端执行器)

T轴: 350deg(原点开始±175deg)

W轴: 360deg(原点开始±180deg)

Z轴: 300mm

P轴:180deg

往返精确度

XY: ±0.1 mm

Z: ±0.05 mm

P: ±0.02 deg

晶圆保持方法

真空吸附

夹持

凹槽（接收盘）

伯努利

晶圆保持确认

真空吸附：数字显示真空传感器

夹持:微型光电传感器

凹槽: 微型光电传感器或者无

伯努利：反射型传感器

连接方式

RS232C

适用电源

单相 AC100V~AC115V+10% 7A 1系統 (AC100V规格)

单相 AC200V~AC230V+10% 5A 1系统 (AC200V规格)